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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

原位光束轮廓测量

US16156434 2018-10-10 发明申请

2020-4-16

公开了一种用于确定离子束的各种参数的系统。可以修改测试工件以并入检测图案。检测图案可以被配置为测量离子束的高度，离子束的均匀性或离子束的圆心角。在某些实施例中，可以使用光学发射光谱仪(OES)系统来测量撞击检测图案的电流量。在其它实施例中，用于偏置工件的电源可用于测量撞击检测图案的电流量。可替换地，检测图案可被并入工件保持器中。