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用于表征弯曲部件的棱镜耦合系统和方法
US16138033 2018-9-21 发明授权
2019-12-3
公开了用于表征弯曲部件的棱镜耦合系统和方法。 耦合棱镜的耦合表面与弯曲部分的弯曲外表面对接以限定耦合界面。 测量光被引导通过耦合棱镜并到达界面,其中测量光具有3mm或更小的宽度。 从界面反射的TE和TM模式光谱被数字捕获。 处理这些模式光谱以确定弯曲部分的至少一个特征,例如应力分布,压缩应力,层深,折射率分布和双折射。
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