| 由半导体材料制成的样品的光学功能方法和系统 |
| JP2019520493 2017-6-27 发明申请 |
| 2019-9-26 |
| 根据一个方面， 半导体材料(10)由系统中样品光学功能内部的A(100)制成， 该材料具有光谱的波段， 脉冲激光束的有效持续时间具有用于照射1ps-100ns(20)的光源， 在激光束1的焦点上，激光束1的数量与每个脉冲的多光子吸收相适应， 根据预定图案， 其中激光束(40)具有会聚在样品内部的显微镜物镜， 在图案的每个点上， 测量装置(30)的折射率的实部和样品， 在图案的每个点上， 折射率变化10相对于3的实部的绝对值越大， 使材料的折射率的实部渐变，根据测量结果控制脉冲的折射率图案的实部的点和控制部(60)，提供该系统。 [图]图1A |
微信公众号