| 检查多层样品 |
| US16174053 2018-10-29 发明授权 |
| 2020-5-19 |
| 检查多层样品。 在一个示例性实施例中，一种方法可以在分束器处接收光并将光分成第一和第二部分； 在分束器处，组合从多层样品反射后的光的第一部分和从反射器反射后的光的第二部分； 在用于分析法布里-珀罗条纹的计算机控制系统处接收组合光，并对组合光进行光谱分析，以确定撞击用于分析法布里-珀罗条纹的系统的狭缝的总功率的值； 确定光程差(OPD)； 记录干涉图，该干涉图绘制OPD的值与OPD的关系曲线； 用不同的OPD执行该方法的先前动作一次或多次附加动作； 以及对不同的OPD中的每一个使用干涉图来确定多层样品的层的厚度和顺序。 |
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