| 一种高深度扫描成像系统 |
| CN201911412616.9 2019-12-31 发明申请 |
| 2020-5-15 |
| 本申请公开了一种高深度扫描成像系统,高深度扫描成像系统包括:光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、样品检测台和信号处理单元;光源单元产生参考光和样品光,参考光通过参考臂光路,以形成参考回光;样品光通过样品臂光路单元照射到样品检测台的待检测样品上,以形成样品回光;信号处理单元探测参考回光和样品回光干涉产生的干涉光谱,并基于干涉光谱计算待检测样品的深度信息;其中,参考臂光路单元具有第一位置和第二位置,参考光通过第二位置的参考臂光路单元的光程大于通过第一位置的参考臂光路单元的光程,通过上述方法,本申请可以基于参考臂光路单元的位置变化调整成像系统的扫描深度,有利于节省成本。 |