| 用于激光吸收光谱的最佳加权平均预处理方案 |
| US16512320 2019-7-15 发明申请 |
| 2019-11-7 |
| 提供了一种处理来自可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS)工具或其它光谱仪的原始测量数据的方法，该方法确定测量中存在何种类型的噪声(电子或工艺流程)。 基于该确定，通过使用根据所存在的噪声的主要类型选择的权重来执行加权平均来降低噪声，或者应用一般情况来确定没有噪声类型是主要类型的权重。 该方法还包括用该工具执行连续光谱测量，其中数据和加权平均不断更新。 加权系数也可以基于时间相邻迹线之间的相似性或差异来调整。 |
微信公众号