| 一种多探头扫描成像系统 |
| CN201911412580.4 2019-12-31 发明申请 |
| 2020-5-1 |
| 本申请公开了一种多探头扫描成像系统,该多探头扫描成像系统包括:光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、样品检测台和信号处理单元;样品臂光路单元进一步包括探头选择装置以及与探头选择装置连接的至少两个探头;光源单元产生参考光和样品光,参考光通过参考臂光路,以形成参考回光;样品光通过至少两个探头中的一个探头照射到样品检测台的待检测样品上,以形成样品回光;信号处理单元探测参考回光和样品回光干涉产生的干涉光谱,并基于干涉光谱计算待检测样品的深度信息。通过上述方法,本申请可以实现多路扫描,分时对多样品进行扫描成像。 |