| 面扫探头系统和光谱仪 |
| CN201911342282.2 2019-12-23 发明申请 |
| 2020-4-28 |
| 本公开涉及一种面扫探头系统和光谱仪，面扫探头系统包括：第一壳体，设置有导光孔，以供激发光束照入到第一壳体中，激发光束来自光谱仪的拉曼检测系统的通光孔；面扫光学模块，安装于第一壳体并且包括反射元件；MEMS模块，固定于第一壳体，并且包括MEMS驱动器和MEMS反射镜，MEMS驱动器驱动MEMS反射镜运动；以及物镜模块，固定于第一壳体并且包括准直透镜，从导光孔照入的激发光束经反射元件反射后朝向MEMS反射镜照射，并之后被MEMS反射镜反射为朝向准直透镜的像侧面照射的角度不同的多个平行光束。通过上述技术方案，本公开提供的面扫探头系统能够实现多点检测扫描，有益于提高光谱仪的操作安全性和检测精度。 |
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