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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

热驱动MEMS可调谐滤波器

US15830834 2017-12-4 发明申请

2019-6-6

公开了一种可调谐法布里-珀罗滤波器件的微电子机械系统(MEMS)实现。与使用这些可调谐标准具相关的优点包括孔径尺寸，位移，可靠性和成本的降低。在一些示例中，提供了使用热驱动MEMS法布里-珀罗可调谐滤波器的微型光谱仪中的集成可调谐检测器。其它示例使用集成热驱动可调谐MEMS法布里-珀罗滤波器来选择光纤通信信道。