| 具有增强的能量范围的柱后过滤器 |
| US15971896 2018-5-4 发明授权 |
| 2019-10-1 |
| 一种在扫描/透射电子显微镜中操作柱后过滤器(PCF)的方法，以及被配置为根据该方法操作的柱后过滤器。 在一个实施例中，该方法包括 : 在入射平面处接收入射电子束； 通过能量色散元件将入射的电子束色散为能量色散的电子束； 在入口平面和狭缝平面之间设置第一多个四极； 在EEL模式下操作PCF； 以及在EFTEM模式下操作PCF。 以EEL模式操作PCF包括 : 在第一激励电平激励第一多个四极中的一个或多个四极，其中第一激励电平不增大能量色散电子束的能量色散； 以及在图像平面上形成能量色散电子束的图像，该图像是鳗鱼光谱。 在EFTEM模式下操作PCF包括 : 在光路中的狭缝平面处包括狭缝； 在第二激励电平激励所述第一多个四极中的一个或多个四极，所述第二激励电平不同于所述第一激励电平； 在狭缝平面处的狭缝上形成能量色散电子束的能量色散焦点； 以及基于在所述第二激发能级激发的所述一个或多个第一多个四级放大由所述能量色散元件引起的所述能量色散电子束的能量色散。 |
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