| 具有掩埋接地面的气密密封的分子光谱仪单元 |
| US15697505 2017-9-7 发明授权 |
| 2019-9-24 |
| 一种用于形成密封空腔的方法，包括将非导电结构键合到第一衬底以在第一衬底中形成非导电孔。 在与第一衬底相对的非导电结构的表面上，该方法包括沉积第一金属层。 该方法还包括在第一金属层中构图第一光圈，在第一金属层的与非导电结构相对的表面上沉积第一电介质层，以及在第一电介质层的与第一金属层相对的表面上构图天线。 该方法还包括在第一衬底中形成空腔， 在空腔的表面上沉积第二金属层，在第二金属层中构图第二虹膜，以及将第二衬底键合到第一衬底的与非导电结构相对的表面上，从而密封空腔。 |
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