| 一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜和控制方法 |
| CN201811559582.1 2018-12-19 发明申请 |
| 2019-3-8 |
| 本发明公开了一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜和控制方法，所述自适应步进扫描模块包括智能反馈控制器、六轴位移台、数据采集卡和控制模块，其中，所述原子力显微镜的探针驱动器受所述六轴位移台驱动以发生倾斜，所述探针驱动器与所述智能反馈控制器通讯连接，所述智能反馈控制器通过所述数据采集卡与所述控制模块通讯连接，所述数据采集卡与所述六轴位移台通讯连接。该模块可实现样品两侧侧壁的精确测量。 |
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