| 一种超高真空红外光谱原位分析系统 |
| CN201810974831.7 2018-8-24 发明申请 |
| 2020-3-3 |
| 本发明公开了一种超高真空红外光谱原位分析系统，包括红外光谱仪，该系统还包括与超高真空样品室相连的样品控制装置和超高真空获得装置；超高真空样品室两侧设有超高真空KBr红外窗口；超高真空获得装置包括无油机械泵、涡轮分子泵和溅射离子泵；样品控制装置由微分头通过轴、杆控制其下方的样品架，并与超高真空样品室采用金属封接，通过波纹管进行力及运动的传递。本发明实现了模拟空间环境下材料表面的红外光谱原位分析。 |
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