| X射线发射光谱仪系统 |
| US16371606 2019-4-1 发明申请 |
| 2019-10-3 |
| 提供了用于X射线发射光谱术的系统和方法，其中至少一个X射线分析器是弯曲的，并且接收和衍射从样品发射的荧光X射线，并且至少一个空间分辨X射线检测器接收衍射的X射线。 所述至少一个X射线分析器和所述至少一个空间分辨X射线检测器位于所述罗兰圆上。 在一些配置中，荧光X射线从由来自X射线源的X射线照射的样品的相同表面发射，并且该系统具有非罗兰圆几何形状。 在一些其它配置中，X射线光学系统接收由电子显微镜内的电子撞击的样品发射的荧光X射线，并将至少一些接收的荧光X射线聚焦到焦斑。 |
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