| 一种光谱共焦测量系统及方法 |
| CN201911338852.0 2019-12-23 发明申请 |
| 2020-2-28 |
| 本发明提供了一种光谱共焦测量系统及方法，采用线光源进行光谱共焦测量，使用色散透镜组对线光源进行成像，一次性获得一条共焦线上所有点的位置信息和高度信息，只需要再进行一维的扫描就可获得整个被测物体表面的位置和高度信息，从而实现高精度的快速物体表面位置和高度的测量。并且本实施例中利用了光路可逆原理，使用共轴系统，让光线从被测物体反射回色散透镜组，再次聚焦进入光谱仪进行数据分析，其中的色散透镜组被重复利用，有效的减少了成本和系统体积，因此本发明具有高效率和低成本的特点。 |
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