| 光学检查系统 |
| JP2018153950 2018-8-20 发明申请 |
| 2020-2-27 |
| [问题]接收干涉光干涉条纹具有清晰，高对比度的光学检查系统。 [解决方案]光学检查系统，向检查对象物照射光，该光接收系统具有由检查对象物引起的干涉。 所述的限位机构设置在光源与光谱不正的光源之间。 该光接收系统，在从光源发射的光的波长带范围内，来自从光源发射的光的干涉比仅透射具有光谱的光的窄带滤光器的宽度窄。 将设置在基座上的光源，一个或多个具有发光的发光元件，从发光元件转换成散射光，优选地提供散射光照射在样品板上。 发光器件，有机EL元件或LED是优选的。 窄带滤波器，带通滤波器，长通滤波器，其作为短通滤波器，10nm或更小的光谱宽度优选是透光的。 图1[附图] |
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