| 扫描电子显微镜 |
| US16115287 2018-8-28 发明申请 |
| 2019-3-7 |
| 本发明以简单的偏转器结构扩大了通过射束偏转的视场移动范围，并且抑制了由射束偏转引起的信号电子检测率的劣化。 根据本发明的扫描电子显微镜具有第一偏转场设置模块，该第一偏转场设置模块设置多个偏转器，以通过第一电子束将样品上的扫描区域移动到偏离从电子源向中心延伸的轴的位置。 以及第二偏转场设置模块，其设置所述多个偏转器，使得在不改变由所述第一偏转场设置模块设置的扫描区域的情况下校正信号电子的轨迹。 控制单元通过将第二偏转场设置模块设置的设置值与第一偏转场设置模块设置的设置值相加来控制多个偏转器。 |
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