| 一种可分离式扫描探针显微镜镜体 |
| CN201811491521.6 2018-12-7 发明申请 |
| 2019-3-1 |
| 本发明公开了一种可分离式扫描探针显微镜镜体，所述显微镜镜体包括压电马达、支撑架、绝缘盖、样品台、屏蔽罩和前置放大电路盒，绝缘盖上开设有一与压电马达形状和大小适配的第一定位卡槽，压电马达通过粘接方式固定在第一定位卡槽内；支撑架内部开设有一用于装设压电马达的腔体，且支撑架上端与绝缘盖固定连接，支撑架下端固定在样品台上以中心为原点开设的与支撑架形状和大小均适配的第二定位卡槽内，样品台固定在前置放大电路盒上，屏蔽罩固定于前置放大电路盒表面，用于罩住压电马达、支撑架、绝缘盖、样品台；本发明整体结构简单且刚性强，采用分离式的镜体结构设计，方便扫描探针显微镜系统的组装调试以及后期的维护。 |
微信公众号