| 用于调节粒子束显微镜的方法 |
| DE102017220398 2017-11-15 发明授权 |
| 2019-2-28 |
| 当调节粒子束显微镜时，执行以下步骤 : a)将其放置在第一设置中的光束调节装置W1中，物镜对第一物镜激励值I1进行激励并接收； 第一图像B是 : 在第二调整W2中与光束调整装置接触并被接收； 第二图像C是 : 它是放置在第一设置W1中的光束调节装置，物镜对第二物镜和接收到的第三激励值I2图像； d是 : 接收它； 光束调节装置设置在第二设置W2中， 以及第四图像和S : 将光束调整装置调整成使来自WOPT的图像最佳化，使物镜到第三物镜的激励值I3=I1+K*(I2-I1)通电并接收另一个图像。 |
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