| 一种具有扫描探针显微镜漂移校正方法和漂移校正功能的扫描探针显微镜 |
| JP2017154999 2017-8-10 发明申请 |
| 2019-2-28 |
| [问题]通过扫描探针显微镜实现对微小半导体器件的高精度测量。 [解决方案]沿着测量探针的X轴在主扫描方向上扫描样品表面上的主扫描线， 副扫描方向(Y轴方向)移动探头，然后沿主扫描线扫描探头，重复L11-Ln1主扫描进行测量。 在完成特定主扫描的测量之后，沿着扫描线将样品探针扫描到预定的基准以用于形状测量，测量基准形状。 通过比较由漂移量之间的时间推移所产生的结果，计算先前测量的基准形状测量结果的基准测量值，以及在主扫描中测量的用于校正的测量结果的电流。 图1[附图] |
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