| 一种光谱分析仪 |
| JP2018128352 2018-7-5 发明申请 |
| 2020-1-16 |
| [问题]为了增加由引导分析测量的光量以提高精确度，光谱分析仪。 [解决手段]具备分析装置，激光照射部，具有光谱分析部的接收部，以及导光部，聚光部。 在激光照射部110，激光束L1被照射样品，等离子体样品。 接收部分120，从样品发射的光是等离子体。 分析单元130，被划分为各个波长分量的光，获得各个波长分量的发射强度。 光导单元140, 120和130通过光谱分析部分彼此连接，接收部分接收被引导到分光镜120, 130的光。 聚光部分150, 120可拆卸地连接到接收部分，接收部分120收集入射的光。 图1[附图] |
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