| 一种电子显微镜中高能X射线检查系统及方法 |
| JP2018146964 2018-8-3 发明申请 |
| 2019-2-28 |
| [问题]X射线检测效率提高了高能探测器的检测精度。 [解决方案]当X射线检测器110已经安装在电子显微镜中时，信息收集系统从样品102收集信息，X射线检测器110检测设置在材料中的检测芯片，复合材料是检测到的半导体材料。 探测材料的量高于常规的复合半导体材料为硅原子或原子密度， 由于高能X射线的穿透作用，高能X射线可通过降低检测效率而消除检测精度的材料损耗。 图1[附图] |
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