| 具有光导向机构的原子力显微镜 |
| US16113192 2018-8-27 发明申请 |
| 2019-2-28 |
| 一种原子力显微镜，包括 : 扫描器，用于沿着至少一个平移轴扫描探针； 一种用于产生入射光束的固定光源， 一种用于检测从悬臂反射的光束的静止位置敏感检测器， 光学引导机构，用于补偿探针的扫描运动，并被配置为将入射光束引导到悬臂上的点，并将反射光束从悬臂引导到位置敏感检测器， 其中，所述光引导机构包括至少两个光偏转元件，每个光偏转元件布置成沿相应的平移轴线与所述探针同步移动， 并且被配置为在光源和检测器之间限定用于入射和反射光束的光路，使得光路长度与探针沿各自的平移轴的平移无关。 |
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