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产业专利数据

扫描探针显微镜

US15692231 2017-8-31 发明申请

2019-2-28

一种扫描探针显微镜，其具有被配置为横跨待监测样品的表面移动的探针。安装有探针的扫描器使探针横跨样品表面移动，使得探针根据样品表面的结构偏转。光束系统在探针穿过样品表面的运动期间将光束引导到探针，并且检测器使用光束监测探针的偏转。所述布置使得所述扫描器在物理上独立于所述光束系统。