| 原子力显微镜悬臂，系统和方法 |
| EP17187809 2017-8-24 发明申请 |
| 2019-2-27 |
| 原子力显微镜(AFM)悬臂的表面由主悬臂体和岛限定。 岛由主体和岛的相对边缘之间的分离空间部分地与主体分离。 至少一个桥接器，用于将所述至少一个桥接器连接到所述主体，其中所述至少一个桥接器能够通过所述至少一个桥接器的扭转而绕所述主体旋转。 所述岛具有位于所述岛上偏离所述线的位置处的探针尖端和反射区域。 在AFM中，光源将光引导到反射区域，光斑位置检测器检测由反射区域反射的光形成的光斑的位移，用于测量施加在探针尖端上的力的影响。 |
微信公众号