| 光谱分光光学组件 |
| EP17179337 2017-7-3 发明申请 |
| 2018-1-10 |
| 它是一种光学组件(100)，用于从光谱的谱和色散波长的光区≤λ#-[1λ≤λ2的描述。所述光学装置包括反射型衍射光栅(4)，其中，在光入射侧上的反射衍射光栅(4)的第第一介质(5)具有的折射率Δnin的设置，和一个面向远离光入射侧上的反射衍射光栅(4)的第第二介质(20)具有折射率ngrams设置，其中N是>N#-[USMAX克。所述光学组件相适配，在入射光的角度α从第第一介质(10)上的反射衍射光栅(4)，其中，所述状况(α)>S othegrams/氮化硅的要求。反射型衍射光栅(4)具有多层系统(40)具有至少一个覆盖层(42)和至少一个结构化的层(41)上，所述至少一个结构化的层(41)内侧有周期P的方向上具有周期性结构，并且其中所述周期P对<λ条件/[othegrams s[*]sin(α)+和P/[lambda>othein的sin(α)+s[*]。 |
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