| 像差测量方法和电子显微镜 |
| EP18190202 2018-8-22 发明申请 |
| 2019-2-27 |
| 本发明提供一种电子显微镜中物镜的像差测量方法，该方法包括 : 物镜(20)，其聚焦照射试样(S)的电子束； 以及检测器(30)，其检测已经通过所述样品的电子束，所述像差测量方法包括 : 通过倾斜所述束(16)将昏花像差引入所述物镜； 在将所述昏迷像差引入所述物镜之前测量所述物镜的像差； 在将所述昏迷像差引入所述物镜之后测量所述物镜的像差； 以及基于物镜在引入昏迷像差之前和之后的像差的测量结果，获得物镜的光轴(202)在检测器的检测器平面(302)上的位置。 |
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