用于光学测量测量对象的设备和方法
 
DE102018114860  2018-6-20  发明申请

2019-12-24
 
  一种色度测量装置,包括 : 光源共焦器(1),其发射多个波长的光;以及第一分束器(3),来自成像光学器件(25)中的光源的光通过该第一分束器而具有色差。 由成像光学器件和第一分束器将测量对象的反射光(3)映射到第一共焦检测面板装置(10),使得第一共焦检测面板装置(10)作为共焦孔径起作用。 由第一检测孔阵列(10)从第一检测光落(16)检测并评估。 测量装置具有第一狭缝光阑(2),共焦光阑用作测量装置。 该测量装置还包括第二检测装置(26)和第二分束器(26), 其中第二分束器(13)将从测量对象(8)反射的第一和第二部分光束光(14,17)分束,其与测量对象(8)的相同空间区域映射。 所述第一检测装置(16)通过线检测器检测第一部分光束(14)的光,并且评估来自所有波长的总强度,和/或总强度分布图,以试图获得要创建的图像。 第二检测装置(26)同时将第二部分光束的光解理(17)来自多个单独波长的光的光谱强度并进行评估。
 
仿站