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一种光电一体化复合芯片的制造方法

CN201810606958.3 2018-6-13 发明申请

2019-12-20

本发明提供了一种光电一体化复合芯片的制造方法，具有如下特征：在硅基片的一面利用平面波导分光器件实现光子芯片功能；在其背面集成驱动控制芯片和半导体制冷芯片功能，从而实现光电一体化复合芯片的制造。本发明通过制备光电一体化复合芯片，实现其在拉曼光谱检测特别是在血糖检测等生物医疗或环保检测中的应用。