微弱光源罗兰光栅线阵CCD/CMOS检测器分光系统及方法
 
CN201910699043.6  2019-7-31  发明申请

2019-12-20
 
  本发明属于原子发射光谱技术领域,涉及一种微弱光源罗兰光栅线阵CCD/CMOS检测器分光系统及方法,应用于大于等于5μm的微米级微束激光诱导击穿光谱仪。该分光系统沿光束的传播方向依次包括平凸透镜(2)、第一柱面透镜(3)、入射狭缝(4)、凹面光栅(5)、第二柱面透镜(6)和CCD/CMOS检测器(7);其中,入射狭缝(4)、凹面光栅(5)和CCD/CMOS检测器(7)位于罗兰圆上,光源(1)、平凸透镜(2)和第一柱面透镜(3)位于罗兰圆外,并与入射狭缝(4)和凹面光栅(5)共线。本发明与传统罗兰光学系统对比,具有光学分辨力强、信号放大倍数高、信噪比高等特点,特别适用于微束激光光谱仪的单脉冲和多个脉冲的光谱分析。
 
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