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一种用于电感耦合等离子体发射光谱仪的分光色散装置

CN201910862705.7 2019-9-12 发明申请

2019-12-3

本发明公开一种用于电感耦合等离子体发射光谱仪的分光色散装置，按光路传播方向包括汇聚透镜、分光镜和光栅；所述分光镜为半反半透棱镜。所述光栅为两个，分别为平场光栅和平面光栅。光源发出的光信号经汇聚透镜聚焦后，通过半反半透棱镜将光分成两束，分别为透射光和反射光，其中透射光经过平场光栅色散分光，反射光经过平面光栅色散分光。