| 光谱辐射亮度响应度测量系统 |
| CN201810435108.1 2018-5-9 发明申请 |
| 2019-11-19 |
| 本发明涉及光学测试设备技术领域，公开了一种光谱辐射亮度响应度测量系统。该系统包括发出真空紫外光辐射的真空紫外光源、对入射的真空紫外光辐射进行分光处理后输出预定波长的光辐射的真空紫外单色分光装置、对输出的预定波长的光辐射进行均匀处理的真空紫外匀光装置、参考辐射亮度计、在参考辐射亮度计对准真空紫外匀光装置和待校准辐射计对准真空紫外匀光装置之间切换的切换装置、根据所述参考辐射亮度计和所述待校准辐射计分别测量得到的辐射亮度值计算所述待校准辐射计的光谱辐射亮度响应度控制器和提供真空环境的无油真空仓。由此，可以准确获得待校辐射计的光谱辐射亮度响应度。 |
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