| 一种全自动真空原位红外处理系统 |
| CN201920330035.X 2019-3-15 实用新型 |
| 2019-11-15 |
| 本实用新型涉及一种全自动真空原位红外处理系统，其特征在于，包括：主管道、主阀、分子泵、干式涡旋泵、第一控制阀、第二控制阀、第四控制阀、第一充气阀、第二充气阀、充蒸汽阀、复合规、压阻规。本实用新型使用分子泵和干式涡旋泵，能够在短时间内提供一个清洁无油的高真空环境，极限真空度≤1×10?5Pa；配合红外光谱仪，可用于吸附态原位红外检测；可以在一个管道内集成多种功能，可以同时对多个红外光谱仪的红外池进行真空作业；使用不锈钢管道和高真空挡板阀，安全耐用。 |
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