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具有显微镜系统和保持装置的显微镜装置以及用显微镜检查样品的方法

WOEP18072270 2018-8-16 发明申请

2019-2-21

本发明涉及一种显微镜装置(10)，其包括显微镜系统和保持装置(12)，其中显微镜系统包括显微镜(14)，一种具有至少两个激光器(16a)的照明装置(16)， 16b)和输入耦合元件(40， 42， 50， 52)，用于输入耦合每个激光束(116a，116b)，由所述至少两个激光器(16a，16b)产生的116b)， 16b)放入显微镜(14)中，其中保持装置(12)包括仪器平台(22)，其上有至少两个激光器(16a，16b)，设置照明装置(16)的照明装置(16b)，保持元件(24)，其刚性地连接到，首先，仪器平台(22)，其次，显微镜(14)，以及至少一个支撑元件(20)，其构造成将仪器平台(22)支撑在主平台(18)上并与主平台间隔一定距离，其中所述至少一个支撑元件(20)具有可调节的高度，以便将所述仪器平台(22)布置在距所述主平台(18)可调节的竖直距离处，和/或显微镜系统具有高度可调的显微镜载物台(34)，以便将由显微镜载物台(34)限定的物体平面(36)布置在距主平台(18)可调的竖直距离处，使得物体区域(26)的竖直程度可调节。在激光束(116a，116b)之间的空间和/或时间关系不变的情况下。