| 光学显微镜和光谱测量方法 |
| WOJP18030499 2018-8-17 发明申请 |
| 2019-2-21 |
| 本发明的一个方面的光学显微镜(100)包括 : 光源(10)； 第一扫描器，用于扫描样品上光束的光点位置； 物镜(21)，其聚焦由第一扫描器偏转的光束并使光束进入样品； 分光镜(31)，该分光镜在入射侧具有狭缝，从用光束照射的样品区域发射的发射光进入该狭缝； 一个检测器(32)，用于检测从分光镜(31)发出的光； 以及设置在从第一扫描器到物镜(21)的光路上并包括用于反射由第一扫描器偏转的光束的第一离轴抛物面反射镜(301)和第二离轴抛物面反射镜(302)的第一中继光学系统(300) 反射由第一离轴抛物面反射镜(301)反射的光束。 |
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