| 扫描探针显微镜的扫描头 |
| EP18188443 2018-8-10 发明申请 |
| 2019-2-20 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜的扫描头(1)， 扫描头(1)包括具有相对设置的第一端部(111)和第二端部(112)的扫描头框架(11)， 所述第一端部(111)和所述第二端部(112)分别限定第一容纳空间(113)和第二容纳空间(114)； 位于第一容纳空间(113)中的样品台(12)； 位于第二接收空间(114)中的扫描模块(13)； 以及固定在扫描头框架(11)的第二端部(112)上的多个固定电极(161)。 本发明的扫描头(1)的信号线在工作过程中不会脱落或撕裂。 另外，扫描头(1)允许激光入射到其扫描探针上，使得扫描探针与激光耦合，因此适用范围广。 本发明的扫描头(1)采用模块化设计，结构紧凑，节省制造和维护成本。 |
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