| 扫描电子显微镜安全控制系统及方法 |
| KR1020170153193 2017-11-16 发明授权 |
| 2019-2-20 |
| 在该实施例中是在形成筒体时， 所述筒体位于样品扫描电子束枪内， 所述筒体真空和非真空条件，其中电子束通过将所述筒体分离到外部环境的电子可渗透膜，以及与扫描电子显微镜(扫描电子显微镜，SEM)检查相关联地形成的电子，所述扫描电子显微镜(扫描电子显微镜，SEM)检查包括从所述样品发射的被检测物； 所述样品台具有样品； 所述扫描电子显微镜样品测量所述光学测量仪的距离； 以及所述发射电子的检测值。 将预定阈值进行比较，所述阈值为所述发射电子的检测值。 所述距离大于所述扫描电子显微镜样品编号之间的安全距离的水位被设置为设置扫描电子显微镜的方法是由扫描电子显微镜执行的安全编号系统和方法来确定相对的安全编号。 |
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