| 用于扫描探针显微镜的检测Blizhnepolnogo光学响应的方法 |
| RU2017128877 2017-8-14 发明申请 |
| 2019-2-20 |
| 领域：optics.SUBSTANCE：发明涉及基于探针显微镜方法的高空间分辨率光学方法。 发明内容在于，在用于检测扫描探针显微镜的近场光学响应的方法中，涉及使以频率Ω振荡的探针换能器与样品接近，借助于聚焦元件聚焦在辐射源的具有0.4至500mcm范围内的波长λ的探针光学辐射传感器的尖端上，由第一同步检测器通过检测探针传感器N Ω的振荡的高次谐波处的光学检测器信号来测量近场光学响应，其中n是高次谐波的阶数， 使用迈克尔逊方案，其中位移单元使用反馈系统将参考臂反射镜置于预定位置，通过位移模块改变支撑臂反射镜的位置，使得近场光学响应和从支撑臂反射镜反射的辐射的相位差异保持恒定。效果：减少测量时间、更快操作、减少测量期间的噪声和减少样品的近场响应的测量误差，以及装置的更广泛的功能能力。8cl，4dwg |
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