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具有高谐波发生(HHG)源的散射测量

WOIL19050206 2019-2-24 发明申请

2019-11-7

提出了一种用于将在衬底上产生的周期性结构的散射测量扩展到电磁光谱的深UV和软X射线区域中的方法。该方法包括测量由驱动激光器产生的从衬底上的结构散射的高次谐波产生(HHG)光束的散射。散射的汞束由对汞辐射敏感的光谱仪或探测器测量。还提供了一种用于执行该方法的系统。