| 具有宽计量工艺窗口的棱镜耦合应力计 |
| US16371517 2019-4-1 发明申请 |
| 2019-10-3 |
| 棱镜耦合系统和方法包括使用棱镜耦合系统来收集化学增强制品的初始TM和TE模式光谱，所述化学增强制品具有带近表面尖峰区和深区的折射率分布。 检查初始TM和TE模式谱，以查看它们是否落在优选的测量窗口内，该测量窗口能够产生膝部应力的精确估计到选择容限内。 如果没有，则改变棱镜耦合系统的测量配置，并收集新的TM和TE模式谱。 重复该过程，直到新的TM和TE模式光谱落在优选的测量窗口内。 然后使用新的TM和TE模式谱来确定膝部应力。 改变测量配置可以包括改变测量波长，界面流体厚度和界面流体折射率中的至少一个。 |
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