具有平行于寄生光减法的表面的口内共焦扫描仪
 
DE102018107710  2018-3-29  发明申请

2019-10-2
 
  一种用于检测三维齿面的装置(10),其具有色度表共焦光学器件(14),照明装置(12),相互横向间隔开的单个光点(34)的栅格,每个光点发射光谱变化的至少两个波长分布之间的时间。 光学器件(14)形成单个光点(34)作为表面结构(20)上的测量点的光栅,由此经由传感器单元(16)被检测。 为了在干涉光中获得更好的效果, 传感器单元具有(16)锁定检测器(62)和在照明装置(12)上的控制和评估单元(18), 到达具有在至少两个波长分布之间的交替时钟(L1,L2)的单个光点(34)的光的光谱改变。 触发信号还用于锁存检测器(RE)(62),其中产生相同的改变时钟(L1,L2)。 在逐步表决光学系统(14)的焦距的同时, 锁定传感器(62)被时时读出,以根据所调谐的焦距和用于从相应测量信号的波形中确定的相应测量点的深度信息来生成测量信号。
 
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