| 基于柱面光栅的分光波导模块和集成光谱仪及制作方法 |
| CN201910508202.X 2019-6-13 发明申请 |
| 2019-8-30 |
| 本发明公开了一种基于柱面光栅的集成光谱仪及其制作方法。光谱仪包括布置在一个箱体里的入射狭缝、分光波导模块和线阵探测器。分光波导模块包括平板波导和柱形出入射端、柱面光栅。基于柱面光栅的分光波导模块采用机械加工法和基于电子束3D灰度曝光光刻法结合整体加工而成。平板波导采用高折射率材料，能有效减少光谱仪的整体厚度，并能提高光谱仪的数值孔径，具有较高的光通量。使用3D灰度曝光光刻和刻蚀技术制作柱面光栅，可以制作几十纳米线宽的光栅，加工精度高、刻蚀后结构表面较为光滑，易于制作微型光谱仪。本发明具有高光通量、轻薄、高分辨率且系统更加紧凑、性能更稳定等优点。 |
微信公众号