| 器件数量光谱特性 |
| KR1020197013727 2017-10-4 发明申请 |
| 2019-6-3 |
| 光谱选择特征装置是适于与布置的分布式光学元件相互作用的脉冲光束； 脉冲光源位于脉冲光束分布光学元件之间并设置在光路中，包括至少三个折射型光学元件； 以及至少一个致动系统，包括 : 每个致动系统包括与所述折射型光学元件相关联的折射型光学元件，所述折射型光学元件与适于控制衬底的脉冲光束光谱特性的第一元件相关联。 与所述至少一个折射型光学元件相关联的操作系统被配置为高速存储系统，所述高速存储系统包括可绕旋转轴线旋转的快速致动器。 高速致动器具有与第一轴旋转轴步进电机平行的相关的折射型光学元件和旋转轴，而不使用工具。 |
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