| 具有多探针传感器功能的装置的扫描探针显微镜 |
| RU2017128876 2017-8-14 发明申请 |
| 2019-2-15 |
| 领域 : 测量。物质 : 本发明涉及一种测量设备，可用于探针方式的样品分析。 具有用于多探针传感器操作的装置的扫描探针显微镜包括 : 平台1， 带样品3的样品架2， 安装在扫描装置4上， 与安装在平台1上的接近装置5相连， 由辐射源7和光电探测器8组成的记录系统6，轮廓型多探头传感器9，包括具有柔性悬臂15的基座10，与旋转驱动器21共轭的点16，17，包括连接到壳体31的压电模块22，以及单元控制器30。 旋转驱动装置21与平台1连接，平台1可打开，并可在平台1上定向安装。效果是 : 简化了更换轮廓型多区域传感器和样品4Cl，4DWG的工艺。 |
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