| 多层衍射光栅 |
| JP2018079592 2018-4-18 发明申请 |
| 2019-10-31 |
| [A]可以容易地制造，衍射光栅的衍射效率高。 [解决方案]电磁波(电磁波光谱试验)对软X射线区域的全反射条件不进入表面材料的内部深处， 由于通过理论计算预测具有通常使用的材料(La)或镧化合物的衍射光栅的衍射效率表面上的金属膜的反射表面，所以可以更多地改善La累积。 然而，材料被氧化，因为水分往往在实践中难以随时间突然下降而反射。 对于搜索的最有效结果，为了防止膜基La碳薄膜中的化学变化，例如通过防止反射率降低而沉积的保护膜。 图3[附图] |
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