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MEMS加热设备、显微镜设备、环境单元
CN201690001105.1 2016-8-31 实用新型
2019-2-12
MEMS加热设备、显微镜设备、环境单元。一MEMS加热设备包括形成在坚固MEMS衬底的加热源部件,其中所述加热源部件与流体储层或大型导体样本相互电绝缘,而足够接近具有流体或样本的成像窗/区域,这样所述样本通过导热被加热。所述加热设备可被用于显微镜样本座内,如SEM、TEM、STEM、X射线同步加速器、扫描探针显微镜和光学显微镜的显微镜的样本座。
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