| 用于扫描探针显微镜的热稳定的，抗漂移的探针及其制造方法 |
| WOUS18045254 2018-8-3 发明申请 |
| 2019-2-7 |
| 一种用于诸如原子力显微镜(AFM)之类的表面分析仪器的探针组件，其容纳潜在的热漂移效应，包括限定探针组件的基底的基底， 悬臂，其从基座延伸并具有远端；以及反射垫，其设置在远端处或远端附近。 反射垫具有在大约25微米(25)之间的横向尺寸(例如长度)，并且可以小于1微米。 理想地，使用光刻在悬臂上构图反射垫。 本发明还提供了相应的热稳定，抗漂移探针的制造方法。 |
微信公众号