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处理系统及用于该处理系统的开关模块

KR1020180099132 2018-8-24 发明授权

2019-10-2

一种处理系统和用于该处理系统的开关模块，其能够使用开关模块和单个光谱仪来分析在多个腔室中产生的光。开关模块包括多个连接。驱动器包括开关单元和驱动器。对于本发明的一个实施例1，各光路与一条光路连接，其他2个连接部与光路连接，其他连接部与光路对齐。