| 分光装置，超测量系统，以及分光方法 |
| JP2018051266 2018-3-19 发明申请 |
| 2019-9-26 |
| [A]在提高波长分辨率的同时，每个狭缝衍射图像可以分离成像光谱仪。 [解决方案]在来自进入狭缝机构的目标的狭缝光的宽度方向上形成多个狭缝， 准直光学元件，其作为入射光通过第一衍射光栅1， 其中第一衍射光栅1经由第一波长的光作为光谱2入射到衍射光栅上， 包括 : 其中第一衍射光栅与第二衍射光栅的光栅间距不同， 该检测器从狭缝机构沿光路方向观察时，其中，第一衍射光栅1在衍射光的方向上被衍射参考0，衍射光在衍射光栅2的方向上被衍射参考0，使得各个方向不同。 图1[附图] |
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