产业集群信息网

产业专利数据

一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法

CN201410617526.4 2014-11-5 发明授权

2019-2-1

本发明涉及一种原子力显微镜和表面光电压谱联用方法，用于测量半导体表面微区的表面光电压谱，解决表面光电压谱不具备空间分辨能力的特点，原子力显微镜和光谱仪是通过斩波器调制可变光波长信号、表面电势变化结合锁相放大器进行联用的，可以给出半导体微区的表面光电压谱和相位角分辨谱图。